Resistance of multilayer diamond-like carbon (DLC) coatings for MEMS applications against oscillating wear

verfasst von

F. Pape, H.H. Gatzen

Organisationseinheit(en)

Institut für Maschinenkonstruktion und Tribologie

Typ

Aufsatz in Konferenzband

Publikationsdatum

2009

Publikationsstatus

Veröffentlicht