Design, Fabrication, and Calibration of Capacitive Air Gap Sensors for the Application in Levitation based Guides in Microactuators

verfasst von

Berend Denkena, Haydar Kayapinar, Hans Heinrich Gatzen, Florian Pape

Abstract

The development of a capacitive sensor for controlling the gap of contactless guides in microactuators is presented in this paper. The counter electrode of the capacitive air gap sensor is kept free from electric leads and the dimension of the active region of the sensor is 445 μm x 950 μm. For the fabrication of the sensor, thin-film processes were applied. The capacitance at the upper measurement range of 15 μm represents 125 fF. An appropriate evaluating circuit provides enough resolution to operate at the pre-defined gap of 7 μm.

Organisationseinheit(en)

Institut für Fertigungstechnik und Werkzeugmaschinen
Institut für Maschinenkonstruktion und Tribologie

Typ

Aufsatz in Konferenzband

Seiten

1915-1918

Anzahl der Seiten

4

Publikationsdatum

12.2009

Publikationsstatus

Veröffentlicht

Peer-reviewed

Ja

ASJC Scopus Sachgebiete

Elektrotechnik und Elektronik

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https://doi.org/10.1109/ICSENS.2009.5398366 (Zugang: Geschlossen)